Ethylen Oxid Sterilisation ist eine Gassterilisation, wobei das Gas in die Packung eindringt und die Mikroorganismen che-misch inaktiviert. Die Packungen werden in einem Druckbehälter dem Sterilisationsgas über mehrere Stunden ausgesetzt, damit das Sterilisationsgas sich in der Packung gleichmäßig verteilen kann. Dabei werden die Packungen mit eine leichte Temperaturerhöhung auf 42°C - 55°C beaufschlagt.
Für diese Anwendungen werden wiederum Verbunde mit einer Polyethlen-Siegelschicht, wie PA/PE, PET/PE, usw. verwendet. Als Deckefolie wird in der Regel medizinisches Papier oder Tyvek verwendet, damit das Sterilisationsgas leichter in die Packung eindringen kann. Zusätzlich ermöglicht dieses Papier einen atmosphärischen Ausgleich in der Packung ohne dass Mikroorganismen eindringen können.